固定式微粒子即時監控系統

AEROTRAK®7201/7301/7501

REMOTE PARTICLE SENSOR(外接PUMP式)

aerotrak-7201
流量 0.1CFM
粒徑範圍 7201:0.2 ~ 10.0 µm/7301:0.3 ~ 25.0 µm/7501:0.5 ~ 25.0 µm
應用要點 固定於環境或設備內之微粒子即時量測應用
適用環境等級 適用於"FS-209E CLASS 10~100,000/ISO CLASS 3~8"
應用產業&應用區域 半導體廠、先進製程、黃光區、半導體設備機台內部、光罩儲存區…等極潔淨環境微粒子量測應用
follow us