| 流量 | 1.0CFM |
|---|---|
| 粒徑範圍 | 0.1 ~ 10.0 µm 8 channels 同步顯示 |
| 應用要點 | QC or 環境微粒子計數量測應用 |
| 適用環境等級 | 適用於"FS-209E CLASS 1~100 ISO CLASS 1~5" |
| 應用產業&應用區域 | 半導體廠、先進製程、黃光區、半導體設備機台內部、光罩儲存區…等極潔淨環境微粒子量測應用 |
| 需求單位 | 半導體廠、光電產業、電子廠、研究單位、工程公司、檢測單位 |
移動式(Portable)微粒子計數器
AEROTRAK®9110
桌上型微粒子計數器
桌上型微粒子計數器
| 流量 | 1.0CFM |
|---|---|
| 粒徑範圍 | 0.1 ~ 10.0 µm 8 channels 同步顯示 |
| 應用要點 | QC or 環境微粒子計數量測應用 |
| 適用環境等級 | 適用於"FS-209E CLASS 1~100 ISO CLASS 1~5" |
| 應用產業&應用區域 | 半導體廠、先進製程、黃光區、半導體設備機台內部、光罩儲存區…等極潔淨環境微粒子量測應用 |
| 需求單位 | 半導體廠、光電產業、電子廠、研究單位、工程公司、檢測單位 |