移動式(Portable)微粒子計數器

AEROTRAK®9110

桌上型微粒子計數器

aerotrak-9110
流量 1.0CFM
粒徑範圍 0.1 ~ 10.0 µm 8 channels 同步顯示
應用要點 QC or 環境微粒子計數量測應用
適用環境等級 適用於"FS-209E CLASS 1~100 ISO CLASS 1~5"
應用產業&應用區域 半導體廠、先進製程、黃光區、半導體設備機台內部、光罩儲存區…等極潔淨環境微粒子量測應用
需求單位 半導體廠、光電產業、電子廠、研究單位、工程公司、檢測單位
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