適用環境等級 適用於： FS-209E CLASS 10~100,000 ISO CLASS 3~8 (微粒子濃度較低之區域量測) 應用產業 & 應用區域 半導體廠、光電產業、封裝測試廠、設備機台內部即時量測…等高潔淨環境微粒子量測應用 需求 單位 生技製藥廠、醫院、研究單位、工程公司、檢測單位
